功能介紹:
1、HYB-2000TB石墨舟清洗機是用于清洗管式PECVD石墨舟的設備,用HF酸浸泡清洗然后再用純水漂洗,最后用氮氣吹干,適用于長度〈1500mm的石墨舟清洗.
2、設備分為2個清洗槽,每個槽都能滿足酸槽要求,為浸泡式清洗,人工裝\取工件,頂部有吸風罩.由氣動隔膜泵將酸在兩槽之間循環抽液,實現清洗功能.
3、有4只安裝石墨舟片子的磁白色PP籃筐
技術參數:
電機功率
240W.220V
使用的清潔劑
HF
壓縮空氣
0.5Mpa—07Mpa
外型尺寸(L*W*H)
3800*1410*1950mm