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    石英管石墨舟清洗機

    石墨舟裝片房

    一、    號:HYB-1000TB

    二、設備用途:PECVD工序的石墨舟手動裝卸片 

    三、結構組成

    本設備主要有本體部分、中間操作臺、空氣過濾系統、排風系統、控制系統組成,設有上部空氣過濾系統、中間操作臺、下部空氣過濾冷卻系統、底部定位部分。

    材料:SUS304 2mm


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