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  6. 
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  7. 
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    石英管石墨舟清洗機
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>石英管石墨舟清洗機 


    
        
    


            
            
            
    
            

                         
    
               
    
                
    石墨舟裝片房
    
                 
    
	一、型    號：HYB-1000TB

    

    
	二、設備用途：PECVD工序的石墨舟手動裝卸片  

    

    
	三、結構組成

    

    
	本設備主要有本體部分、中間操作臺、空氣過濾系統、排風系統、控制系統組成，設有上部空氣過濾系統、中間操作臺、下部空氣過濾冷卻系統、底部定位部分。

    

    
	材料:SUS304 ＆2mm；

    
                 
    
                  
    
                    上一個沒有了 
    
                    下一個石墨舟裝片房 - 
                  
    
                  
            
                        
            
    


    
            
        
            
    詳細介紹：
    
 				
                
    	    
        
    


	
    

    




    


    
	
    
		 
						 
		                                                                            
    	
    
        		
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