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    石英管(舟)清洗機

    用于清洗擴散及PECVD石英管及其他石英器件

    配備自動添液系統,添加精度高;

    PLC觸屏控制、鼓泡功能、噴淋清洗、液位保護功能、高低濃度廢液單獨排放;

    全自動清洗、工藝流程可編輯,自動化程度高;

     


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